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東莞市日和自動(dòng)化設(shè)備有限公司
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地址：廣東省東莞市道滘鎮(zhèn)萬(wàn)道路2 號(hào)華科城創(chuàng)新島產(chǎn)業(yè)孵化園28棟
Add：Bldg 28,HuaKeCheng,Wan Dao Road No.2, DaoJiao Town, DongGuan, China
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品描述
設(shè)備概要：浸漬濕法蝕刻機(jī) 產(chǎn)品：6英寸晶圓＆晶圓盒。
功能：在藥液中水平搖動(dòng)晶圓，蝕刻晶圓表面。
第1槽：使用氯化鐵的蝕刻槽。 液溫50±0.3℃。水平擺動(dòng)周期2.0±0.2秒
蝕刻時(shí)間計(jì)時(shí)器控制
平均蝕刻速率23A/sec。(Sigma 1A)
蝕刻后圖案線寬偏差±4um
（線寬30～170um）
第2槽：純水QDR第一沖洗槽。
第3、4槽：純水溢流第2沖洗槽。
特點(diǎn)：通過(guò)自動(dòng)機(jī)忠實(shí)地再現(xiàn)了客戶(hù)開(kāi)發(fā)的手動(dòng)蝕刻工藝。（客戶(hù)已申請(qǐng)專(zhuān)利）
關(guān)鍵詞：
藥液刻蝕清洗機(jī)
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